全自动长轴轮廓仪

全自动长轴轮廓仪

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技术参数


项目参数
测量范围X轴最大测量范围1550mm
Z1(传感器)20mm
Z立柱行程750mm
测量精度X轴示值误差±(2.5+0.002L)μm
Z1轴指示精度±(0.5+0.02H)μm
x轴直线度0.8μm /100mm  4um/全长
分辨率0.5μm
Z1传感器类型光栅传感器 
分辨率0.05μm
工作台Y向调节±10mm
偏摆调节±6°
升降V型铁范围200mm
承载750KG
爬坡角度上升82°,下降89°



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