MMD系列粗糙度轮廓一体机

MMD系列粗糙度轮廓一体机

主要参数:采用威而信自主产权的国内首创技术,国际领先的测量范围及精度,真正意义上的轮廓粗糙度一次测量解决方案

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主要功能


1

轮廓测量功能




点:点、中点、交点、最高点、最低点

线:直线、切线、垂直线、平行线、平分线

圆:局部圆、椭圆、切圆

角度:夹角、水平角度、竖直角度

位置公差:直线度、凸度、轮廓度、垂直度、平行度

辅助生成:包含辅助点、辅助线、辅助圆




2

粗糙度分析



Ra,Rq,Rz(Ry),Rz(DIN),R3z,Rz(jis),Rp,Rv,Rt,Rsk,Rsm,Rc,Rpm,Rku,Rdq,Roc,Mr1,Mr2,Rpk,Rvk,Rk,Rdc,A1,A2,R,Rx,AR,Rcp,Rmax,Rz-ISO




3

波纹度分析



wt,wa,wp,wv,wq,wc,wku,wsk,w,wx,wz,wsm,wdc,wte,wmr,Aw,c(wmr)wmr(c),wdq




技术亮点



● 自主知识产权的国内首创技术:采用光栅传感器同时满足粗糙度与轮廓尺寸的测量

● 利用干涉扫描光栅尺,分辨率可达1nm,可满足超高精度的测量

● 超高分辨率传感器可同时满足粗糙度与轮廓尺寸的测量,测量过程中无需更换传感器

● 大量程与高精度同时兼容,可满足弧面、柱面、自由曲面等不规则表面粗糙度与尺寸的一体式 测量

● 特有的粗糙度评价算法与位置补偿方法,有效更正和补偿被测面是非平面的测量误差,有效保 证测量曲面、弧面工件粗糙度与平面粗糙度一样高精度和高准确度

● 无需数学方法修正、接近零摩擦系数的导轨,可长久保持高精度测量基准,精度始终如一

● 自定义模板,批量测量,自动标注




产品参数


选型与参数MMD-PGMMD-PG-SPMMD-PG-UP
测量范围X轴100mm ~ 200mm
X轴分辨率0.1μm0.05μm0.02μm
Z1轴±10mm/±20mm/±30mm
Z1轴分辨率0.05μm0.02μm0.01μm
Z轴450mm ~ 550mm
轮廓精度线性精度X±(1.6+0.05L)μm ±(1.4+0.02L)μm±(1.2+0.02L)μm
线性精度Z1±(1.2+0.05H)μm ±(0.6+0.02H)μm±(0.5+0.02H)μm
角度≤1′
圆弧±(1.8+R/12)μm ±(1.5+R/12)μm±(1.2+R/12)μm
直线度1.0μm/100mm0.8μm/100mm0.5μm/100mm
粗糙度精度示值误差±(10nm+0.05A)μm ±(7nm+0.05A)μm±(5nm+0.04A)μm
残值噪声≤0.01μm≤0.007μm≤0.005μm
重复性7%5%4%



选型与参数MMD-HPGMMD-HPG-SPMMD-HPG-UP
测量范围X轴100mm ~ 200mm
X轴分辨率0.01μm5nm2nm
Z1轴±5mm/±8mm/±12mm
Z1轴分辨率0.01μm5nm2nm
Z轴450mm ~ 550mm
轮廓精度线性精度X±(1.0+0.02L)μm ±(0.6+0.02L)μm±(0.4+0.02L)μm
线性精度Z1±(0.4+0.02H)μm ±(0.3+0.02H)μm±(0.2+0.02H)μm
角度≤1′
圆弧≤±(1.0+R/12)μm ≤±(0.8+R/12)μm≤±(0.5+R/12)μm
圆弧Pt≤0.5μm≤0.3μm≤0.2μm
直线度0.4μm/100mm0.3μm/100mm0.2μm/100mm
粗糙度精度示值误差±(5nm+0.035A)μm±(4nm+0.03A)μm±(2nm+0.02A)μm
残值噪声≤0.006μm≤0.004μm≤0.002μm
重复性3%2%2%




选型与参数MMD-UPGMMD-UPG-SPMMD-UPG-UP
测量范围X轴200mm ~ 300mm
X轴分辨率0.01μm5nm1nm
Z1轴±5mm/±8mm/±12mm
Z1轴分辨率0.01μm5nm1nm
Z轴550mm ~ 650mm
轮廓精度线性精度X±(1.0+0.02L)μm ±(0.6+0.02L)μm±(0.4+0.02L)μm
线性精度Z1±(0.4+0.02H)μm ±(0.3+0.02H)μm±(0.2+0.02H)μm
角度≤1′
圆弧±(1.0+R/12)μm ±(0.8+R/12)μm±(0.5+R/12)μm
圆弧Pt≤0.5μm≤0.3μm≤0.2μm
直线度0.3μm/100mm0.2μm/100mm0.1μm/100mm
粗糙度精度示值误差±(5nm+0.035A)μm ±(5nm+0.03A)μm±(5nm+0.02A)μm
残值噪声≤0.006μm≤0.004μm≤0.002μm
重复性3%2%2%


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