自准直仪是通过哪些原理进行检测?
自准直仪是一款检测光学平直度的仪器,广泛用于小角度测量、平板的平面度测量,那自准直仪是通过哪些原理进行检测呢,下面就让我们来了解一下吧。
该系统有一个光源,然后是投影隔板。光源是LED(通常为670 nm,最近被引入红外版。经过分光镜后,光线进入目标透镜并在离开仪器前准直。准直是指在焦距上与物镜表面投影的掩模距离。
投影准直光通过反射镜或其他高质量反射镜反射回来,并被物镜捕捉。返回的图像被采集在高质量的CCD探测器上。由于探测器高度敏感,即使是非常微弱的反射也会被捕获和显示。在原来的视线中,镜象的偏移A是2A。
方位角和仰角的偏差可以用计算机来确定和计算。此外,结果可以清楚地显示在屏幕上。分辨率可以小于0.01弧秒。根据经验法则,FL越高,分辨率就越高。因此,视场越小,获得反射信号的难度就越大。电子方法在数据记录以及与光学自动准直仪不同的计算机接口方面提供了完全客观的优势,后者更笨重、更不准确。
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